气浮隔振平台批发-卓立汉光公司-气浮隔振平台

热稳定性

热稳定性的关键之处在于各轴方向上都具有对称、各向均匀的钢制结构。钢制部件在热交换过程中的延伸性和收缩性是相似的，可以在温度变化过程中保持良好的平整度。钢制的蜂窝芯结构从**板延伸到底板，中间并无塑料或铝质泄露管理结构，因此不会降低平台整体的刚度或是引入更高的热膨胀系数。我们采用钢质侧板，而不是木板，这样就消除了由于湿度而引起的环境不稳定因素。

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DVID-C系列**平台

特点：

? 作为半导体FAB用，气浮隔振平台多少钱，可在Class 1洁净的室内环境中使用。

? 所有材料均用不锈钢制作，可防腐蚀或退色问题

? 安装有防静电装置与能够保持洁净室内空气洁净度的集中排气回收器具

? 为减少洁净室内空气阻力使用打孔结构的上板

? 打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能够积尘的缝隙或弯曲部位

技术指标：

? 固有频率: 1.2Hz ~ 2.0Hz

? 隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95%

at 20Hz : 85% ~ 98%

? 水平复位精度 : ±0.1㎜

? 静负载 : 500Kg

? 自重 : 150 ~ 250Kg

? 材料 : 支架及**部：不锈钢顶盖：不锈钢

? 工作气源 : 3~5Kgf / cm2压缩空气或瓶装液氮

? 阻尼形式:孔式空气阻尼

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简介

光学平台追求水平，首先加工的时候整个台面是较平的。之后台面置放与四个联通的气囊上，以保证台面水平。台面上布满成正方形排列的工程螺纹孔，用这些孔和相应的螺丝可以固定光学元件。这样，气浮隔振平台，当你完成光学设备的搭建，系统基本不会受外来扰动而产生变化。即使按动台面，它也会因为气囊而自动回复水平。

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